校准系统 Calibration

压力校准系统

• PBTS1A 携带式 Baratron 传递标准。 设计为在超净室等现场使用的携带式单通道高精度压力标准器。 压力测量范围从 10^-5 至 25000 Torr。
• PBMS2 携带式双通道 Baratron 测量系统。 压力测量范围从 10^-5 至 1000 Torr。
• PVS6E 轻便真空校准系统。 多达三个高精度 Baratron®
  压力传感器和一套高真空泵集成在一台可移动小车上。 其提供可追踪到美国国家标准局的压力标准， 范围从 10^-5 至 1000 Torr。 PVS6E可以校准电容式压力传感器， 热电偶规， 皮拉尼规， 热/冷阴极离子规等一系列真空计。
• SRG-2CE 磁悬浮规。 用于校准离子规的传递标准。

流量校准系统

• PFTS1A 携带式流量传递标准。 内含多达两个基于测量压力上升率气室， 电子控制单元， Baratron® 压力传感器， 集成在带轮小车上。
• PFTS2A 携带式流量传递标准 (热式)。 操作简单的精密流量测量系统。 其使用 MKS Mass-Flo® 热式质量流量传递标准。


• GBROR® 现场流量检测器可用于在设备工艺停顿间隙或维护时刻进行质量流量控制器的精确和定时诊断以提高设备利用率。