流量测量及控制 Flow Measurement & Control

π系列金属密封压力不敏感数字质量流量控制器

• πMFC 压力不敏感质量流量控制器， 满量程范围从10 sccm – 50 slm。
• πMFC 低压质量流量控制器， 满量程范围从2 – 50 sccm。

ALTA® 系列金属密封数字质量流量控制器

• ALTA® 1480A/180A 数字质量流量控制器/质量流量监视器， 满量程范围从10 sccm– 30 slm。
• ALTA® MC20A 数字质量流量控制器， 满量程范围从20 – 300 slm。

MASS-FLO® 系列金属密封质量流量控制器

• 1479A/179A 质量流量控制器/质量流量监视器， 其满量程范围从10 sccm – 20 slm， 各种模拟和数字通讯口可选。
• M330B 低压质量流量控制器， 其满量程范围从 5–100 sccm
• M330H 高温型(150℃）质量流量控制器， 其满量程范围从 10sccm – 40 slm

MASS-FLO® 系列橡胶密封质量流量控制器

• 1179A/2179A 质量流量控制器/带截至阀质量流量控制器， 其满量程范围从10 sccm – 20 slm， 模拟和数字通讯口可选。
• M100B/M10MB 质量流量控制器/质量流量监视器， 其满量程范围从10 sccm–50 slm
• 1559A/558A 大流量质量流量控制器/质量流量监视器， 其满量程范围从20– 200 slm
• 1579A/579A 大流量质量流量控制器/质量流量监视器， 其满量程范围从50 – 300 slm

以压力为基础的流量控制器

• Tru-Flo® 质量流量检测器是一个紧凑型的诊断仪器。它在已知的腔体体积和温度的条件下， 测量上升的压力来确定流量。


• DELTA® II流量比例控制器 随着 DELTA 流量比例控制器的使用， 优化工艺结果将变得容易。它可将混合的工艺气体按比例分为两路以提高均匀性等工艺参数。比例可从1:1至1:20。